| Спектральное разрешение рентгеновского спектрометра |
| Специализированный рентгеновский дифрактометр |
| Статический масс-спектрометр |
| Статический режим работы масс-спектрометра |
| Текстурный рентгеновский дифрактометр |
| Тройная фокусировка ионного пучка |
| Угловая установка кристаллодержателя рентгеновского дифрактометра |
| Угловое разрешение малоуглового рентгеновского дифрактометра |
| Угол отбора рентгеновского излучения |
| Установочная скорость угловых перемещений блока детектирования рентгеновского дифрактометра |
| Установочная скорость угловых перемещений блока детектирования рентгеновского спектрометра |
| Устранимый дефект |
| Фиксированный рентгеновский спектрометрический канал |
| Фокусировка ионного пучка по направлению |
| Фокусировка ионного пучка по скорости |
| Фокусировка ионного пучка по энергии |
| Эмиссионный рентгеновский спектрометр |
| Явный дефект |